中瓷电子:国产光刻设备精密陶瓷零部件销售情况及产能利用率

投资者提问：

请问公司应用于国产光刻设备的氧化铝氮化铝陶瓷导电加热盘等精密陶瓷设备零部件今年的销售情况如何？和去年相比订单和收入是否有进一步的增长？公司目前这方面的产能利用率如何？谢谢

董秘回答(中瓷电子SZ003031)：

您好，中瓷电子已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。公司目前订单饱满，产能利用率维持在较高的水平，谢谢您的关心。